[发明专利]流体控制设备、流体控制设备的异常检测方法、异常检测装置以及异常检测系统在审
| 申请号： | 201980032117.9 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112119291A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 丹野龙太郎;篠原努;铃木裕也;木曾秀则 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张黎;龚敏 |
| 地址： | 日本国大阪府大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在流体控制设备中，即使在流体的漏出微小的情况下也能够检测漏出。另外，将流体的漏出异常识别为伴随流体控制设备的动作的变化，以高精度检测流体的漏出。能够检测异常的流体控制设备(V1)设置有流路和通过隔膜(22)与流路隔离的封闭空间(S2)，具有检测封闭空间(S1)内的压力的压力传感器(P)、执行给定的信息处理的处理模块以及检测流体控制设备(V1)的动作的动作检测机构，处理模块执行如下处理：通过对由压力传感器(P)检测出的检测值与给定的阈值进行比较来判别流体控制设备(V1)的异常的判别处理、以及根据流体控制设备(V1)的动作来校正给定的阈值的校正处理。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 设备 异常 检测 方法 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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