[发明专利]非吸收性透反射纳米结构RGB滤光器有效
| 申请号： | 201980028904.6 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112041710B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 塔帕什里·罗伊;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;罗伯特·简·维瑟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B5/26 | 分类号： | G02B5/26;G02B1/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及具有亚波长尺寸的纳米结构的透反射滤光器。在一个实施方式中，所述透反射滤光器包括膜堆叠，所述膜堆叠透射一波长范围内的过滤光，并反射不在第一波长范围内的光。所述膜堆叠包括：第一金属膜，设置在基板上，具有第一厚度；第一介电膜，设置在所述第一金属膜上，具有第二厚度；第二金属膜，设置在所述第一介电膜上，具有第三厚度；和第二介电膜，设置在所述第二金属膜上，具有第四厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收性 反射 纳米 结构 rgb 滤光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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