[发明专利]非吸收性透反射纳米结构RGB滤光器

权利要求书

1.一种透反射滤光器，包含：

设置在基板上的膜堆叠，所述膜堆叠透射一波长范围内的过滤光，并反射不在所述波长范围内的光，所述膜堆叠包含：

第一金属膜，设置在所述基板上，具有第一厚度；

第一介电膜，设置在所述第一金属膜上，具有第二厚度；

第二金属膜，设置在所述第一介电膜上，具有第三厚度；和

第二介电膜，设置在所述第二金属膜上，具有第四厚度，其中

所述第二厚度和所述第四厚度是不同的；并且

所述第一金属膜具有所述第一厚度、所述第一介电膜具有所述第二厚度、所述第二金属膜具有所述第三厚度及所述第二介电膜具有所述第四厚度以透射具有第一波长范围的第一过滤光，所述第一波长范围对应于：对应于红色的第一峰值波长，对应于绿色的第二峰值波长，或对应于蓝色的第三峰值波长。

2.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一金属膜和第二金属膜包含银(Ag)；且

所述第一介电膜和第二介电膜包含氧化钛(TiO₂)。

3.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一厚度和第三厚度为15nm至30nm；

所述第二厚度为35nm至90nm；且

所述第四厚度为30nm至100nm。

4.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一峰值波长是630nm且具有65nm的半峰全宽；所述第二峰值波长是533nm且具有65nm的半峰全宽；或所述第三峰值波长是434nm且具有65nm的半峰全宽。

5.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一金属膜和所述第二金属膜基本上由Ag组成；

所述第一厚度和第三厚度为25nm；

所述第一介电膜和所述第二介电膜基本上由TiO₂组成；

所述第二厚度为75nm且所述第四厚度为70nm；

所述波长范围为592nm至652nm；且

所述过滤光对应于红色。

6.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一金属膜和所述第二金属膜基本上由Ag组成；

所述第一厚度和第三厚度为25nm；

所述第一介电膜和所述第二介电膜基本上由TiO₂组成；

所述第二厚度为60nm且所述第四厚度为52nm；

所述波长范围为505nm至561nm；且

所述过滤光对应于绿色。

7.如权利要求1所述的透反射滤光器，其中：

所述第一金属膜和所述第二金属膜基本上由Ag组成；

所述第一厚度和第三厚度为25nm；

所述第一介电膜和所述第二介电膜基本上由TiO₂组成；

所述第二厚度为35nm且所述第四厚度为36nm；

所述波长范围为448nm至502nm；且

所述过滤光对应于蓝色。

8.具有多个透反射滤光器的装置的第一透反射滤光器，所述第一透反射滤光器包含：

多个膜堆叠，当垂直于所述多个膜堆叠的光被引导到所述装置的所述第一透反射滤光器时，所述多个膜堆叠透射第一波长范围内的第一过滤光，并反射不在所述第一波长范围内的光，并且当平行于所述多个膜堆叠的光被引导到所述装置的所述第一透反射滤光器时，所述多个膜堆叠透射第二波长范围内的第二过滤光，垂直于所述多个膜堆叠的所述光对应于交叉偏振光且平行于所述多个膜堆叠的所述光对应于共偏振光，每个膜堆叠具有宽度和间距，当平行于所述多个膜堆叠的光被引导到所述装置的所述第一透反射滤光器时，所述宽度和间距允许在所述第二波长范围内的所述第二过滤光透射，每个膜堆叠包含：

第一金属膜，设置在基板上，具有第一厚度；

第一介电膜，设置在所述第一金属膜上，具有第二厚度；

第二金属膜，设置在所述第一介电膜上，具有第三厚度；和

第二介电膜，设置在所述第二金属膜上，具有第四厚度。