[发明专利]光子器件、光子器件操作方法以及光子器件制造方法在审
| 申请号: | 201980026526.8 | 申请日: | 2019-04-12 |
| 公开(公告)号: | CN112368556A | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
| 发明(设计)人: | 延斯·霍弗里希特 | 申请(专利权)人: | AMS国际有限公司 |
| 主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
| 代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
| 地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 光子器件包括半导体衬底(10)和压敏膜(20)。压敏膜(20)被布置在衬底(10)之中或之上。光子结构(30)被至少部分地耦合至膜(20),并被布置成根据由施加至膜(20)的压力所引起的变形而改变光学特性。 | ||
| 搜索关键词: | 光子 器件 操作方法 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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