[发明专利]包括静电夹具的装置和用于操作该装置的方法在审
| 申请号： | 201980025021.X | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN111954852A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | M·A·范德凯克霍夫;C·G·N·H·M·克洛因;A·M·亚库宁;A·尼基佩洛维;J·范杜文博德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置包括用于夹持组件的静电夹具和用于邻近静电夹具生成自由电荷的机构。用于生成自由电荷的机构被配置为在从静电夹具的第一激发状态到静电夹具的第二激发状态的转变期间邻近静电夹具生成自由电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 静电 夹具 装置 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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