[发明专利]脉冲光束的光谱特征选择和脉冲时序控制有效
| 申请号： | 201980023674.4 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111937256B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | K·M·奥布里恩;T·P·达菲;J·J·索内斯 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法包括：在以脉冲重复率产生脉冲突发的同时，以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器；以及在脉冲突发的产生之间(在没有脉冲产生的同时)之间，根据由一组参数限定的驱动信号来驱动光谱特征调节器。每个离散状态对应于光谱特征的离散值。该方法包括当通过调节以下中的一项或多项来产生下一突发中的脉冲时，通过调节以下中的一项或多项来确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中的、与放大光束的光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中：给光刻曝光装置的指令、给光谱特征调节器的驱动信号、和/或给光源的指令。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 光束 光谱 特征 选择 时序 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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