[发明专利]用于空间等离子体增强原子层沉积（PE-ALD）处理工具的微波等离子体源在审
| 申请号： | 201980016589.5 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111819657A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | J·库德拉;田中努;亚历山大·V·加拉琴科;德米特里·A·季利诺;阿维纳什·舍韦盖尔;卡洛·贝拉;李小浦;阿南塔·K·萨布拉曼尼;约翰·C·福斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了等离子体源组件、包括等离子体源组件的气体分配组件和产生等离子体的方法。等离子体源组件包括供电电极，具有与第一侧相邻的接地电极和与第二侧相邻的电介质。第一微波产生器经由第一馈电器而电耦合到供电电极的第一端，并且第二微波产生器经由第二馈电器而电耦合到供电电极的第二端。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空间 等离子体 增强 原子 沉积 pe ald 处理 工具 微波 | ||
【主权项】：
暂无信息
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