[发明专利]用于空间等离子体增强原子层沉积（PE-ALD）处理工具的微波等离子体源

权利要求书

1.一种等离子体源组件，包含：

供电电极，具有第一端和第二端并且具有延长轴线，所述第一端和所述第二端限定长度，所述延长轴线沿着所述供电电极的所述长度延伸，所述供电电极具有厚度和宽度；

接地电极，在所述供电电极的第一侧上，所述接地电极与所述供电电极隔开一段距离；

电介质，在所述供电电极的第二侧上，所述电介质和所述接地电极包围所述供电电极，所述电介质具有与所述供电电极相邻的内面和与所述内面相对的外面；

第一微波产生器，经由第一馈电器而电耦合到所述供电电极的所述第一端；和

第二微波产生器，经由第二馈电器而电耦合到所述供电电极的所述第二端。

2.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述接地电极通过第二电介质与所述供电电极隔开。

3.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极是平坦导体。

4.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极的所述宽度的一个或多个从所述第一端到所述第二端变化，从所述供电电极到所述接地电极的所述距离从所述第一端到所述第二端变化；或者从供电电极到所述电介质的所述外面的距离从第一端到所述第二端变化。

5.如权利要求4所述的等离子体源组件，其中所述供电电极从所述电介质的所述内面移动一段距离以产生空气间隙。

6.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极进一步包含在所述第一端处的第一支腿和在所述第二端处的第二支腿。

7.如权利要求6所述的等离子体源组件，其中所述第一馈电器和所述第二馈电器与所述供电电极的所述轴线成角度地延伸，并且所述第一支腿和所述第二支腿与所述供电电极同轴。

8.如权利要求7所述的等离子体源组件，进一步包含一个或多个短线调谐器，定位于所述第一支腿的端部处和所述第二支腿的端部处。

9.如权利要求8所述的等离子体源组件，其中所述短线调谐器包含与所述第一支腿相邻地定位的滑动短路和与所述第二支腿相邻地定位的滑动短路。

10.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述第一微波产生器和所述第二微波产生器以在约900MHz到约930MHz的范围中的频率或在约2.4GHz到约2.5GHz的范围中的频率操作。

11.如权利要求10所述的等离子体源组件，其中所述第一微波产生器和所述第二微波产生器以不同的频率操作。

12.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极到所述电介质的所述外面的所述距离跨所述供电电极的所述长度变化。

13.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极到所述接地电极的所述距离跨所述供电电极的所述长度变化。

14.如权利要求1所述的等离子体源组件，其中所述供电电极的所述厚度或所述宽度的一个或多个沿着所述供电电极的所述长度变化。

15.一种气体分配组件，包含权利要求1所述的所述等离子体源组件。