[发明专利]MEMS谐振器阵列布置在审
| 申请号： | 201980011471.3 | 申请日： | 2019-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN111699628A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | A·贾克拉;A·奥加 | 申请（专利权）人： | 京瓷帝基廷公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;B81B3/00;B81B7/04;H01L41/083;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电谐振器，该微机电谐振器包括：支撑结构；谐振器元件，被悬置到支撑结构，该谐振器元件包括多个子元件；以及致动器，用于将谐振器元件激发到谐振模式。子元件被定尺寸为使得它们在一个方向上可划分为一个或多个基本元件，该一个或多个基本元件具有不同于1的长宽比，使得基本元件中的每个基本元件支持基本谐振模式，这些基本元件一起定义子元件的复合谐振模式。子元件还通过连接元件彼此耦合，并且相对于彼此定位为使得基本元件处于矩形阵列配置，其中每个基本元件占据单个阵列位置，并且阵列配置的至少一个阵列位置没有基本元件。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 阵列 布置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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