[发明专利]用于多前体的歧管阀

摘要

多种实施方案包含将前体气体供应至处理工具的设备。在多种示例中，设备包含使用点(POU)阀歧管，POU阀歧管包含耦合至处理工具的处理室的歧管体。歧管体具有由环状部围绕的多个前体气体出口端口。歧管体的清扫气体出口端口实质上朝向环状部的内壁。针对多种前体气体中的每一种，POU阀歧管还包含耦合至歧管体的第一阀以及耦合至第一阀的转向阀。第一阀可耦合至前体气体供应部且具有在歧管体内部的独立的前体气体流动路径。转向阀在前体气体不由第一阀引导至处理室内时的时间段期间使前体气体转向。其他实施例被公开。