[发明专利]表面缺陷光学检测方法及相关装置有效
| 申请号： | 201980005439.4 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111316086B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王星泽;祝毅博;何良雨 | 申请（专利权）人： | 合刃科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/956 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种表面缺陷光学检测方法及相关装置，方法包括：夹持至少两个待测样品，至少两个待测样品中任意两个相邻的待测样品之间形成在预设方向上直线贯通的狭缝；沿预设方向向狭缝入射平行光线；采集从狭缝出射的光线的光学图像；根据光学图像确定待测样品的表面缺陷。该方法有利于同时检测多个待测样品，提高了表面检测的准确度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 光学 检测 方法 相关 装置 | ||
【主权项】：
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