[实用新型]半导体器件表面颗粒测量平台有效
| 申请号： | 201922431968.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211652591U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 许文泽;袁鹏华;刘东升 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/31;G01N21/55;H01L21/67;G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭立 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的半导体器件表面颗粒测量平台，包括：工作台组件，用于放置所述半导体器件；高度滑尺固定组件，其固定连接在所述工作台上；高度滑尺，其第一端固定连接在所述高度滑尺固定组件上；水平滑尺，其第一端与所述高度滑尺的第二端固定连接；颗粒检测器，用于检测所述半导体器件表面颗粒物，所述颗粒检测器固定设置在所述水平滑尺的第二端。本实用新型规范了测量人员测量的手法和标准，从而使得测量获取的数据更为准确。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 表面 颗粒 测量 平台 | ||
【主权项】：
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