[实用新型]一种镀膜机扩散泵用加热装置有效
| 申请号： | 201922425831.4 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN212250641U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机扩散泵用加热装置，包括扩散泵主体，扩散泵主体下部内腔内安装有加热器，扩散泵主体下部侧壁设有风扇排风管道，风扇排风管道的内径由内向外逐渐变大，扩散泵主体上部外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管，冷却水管的结构与扩散泵主体外侧壁形状相匹配，冷却水管为偏平状且内壁间隔设置有表面光滑的弧形凸块，冷却水管连接冷却装置。本实用新型降温效率高，降温效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 扩散 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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