[实用新型]一种等离子刻蚀尾气处理装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子刻蚀尾气处理装置，风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，风机通过出风管与尾气处理箱的侧壁连接，尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，尾气处理箱底部设有排液口，排液口通过排液管连接有过滤箱，过滤箱通过回液管连接有处理液箱，处理液箱内盛放有处理液，处理液箱通过电机与喷头连接，排液口还连接有排气管，该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用。