[实用新型]一种等离子刻蚀尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种等离子刻蚀尾气处理装置，风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，风机通过出风管与尾气处理箱的侧壁连接，尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，尾气处理箱底部设有排液口，排液口通过排液管连接有过滤箱，过滤箱通过回液管连接有处理液箱，处理液箱内盛放有处理液，处理液箱通过电机与喷头连接，排液口还连接有排气管，该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用。

技术领域

本实用新型属于等离子刻蚀技术领域，特别涉及一种等离子刻蚀尾气处理装置。

背景技术

等离子刻蚀是利用射频电源使反应气体生成反应活性高的离子和电子，对二氧化硅晶片进行物理轰击及化学反应，以选择性的去除部分区域，被刻蚀的物质变成挥发性的气体，经抽气装置抽离进入尾气处理装置。

等离子刻蚀产生的尾气中包含未反应气体，反应中间产物及反应产生物质等，直接排入大气会造成污染，需要经过尾气处理装置处理后才可以排入大气。现有的等离子刻蚀的尾气处理装置在尾气进入处理装置后，尾气直接通入处理液中然后经排气管排出，因为尾气在处理液中以气泡形式存在，导致尾气与处理液接触不充分会使得尾气中的污染大气物质处理不彻底，排入大气中还会造成一定程度的污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种等离子刻蚀尾气处理装置，解决现有的等离子刻蚀的尾气与处理液接触不充分会使得尾气中的污染大气物质处理不彻底，排入大气中还会造成一定程度的污染的问题。

本实用新型采用如下技术方案：

一种等离子刻蚀尾气处理装置，包括等离子刻蚀腔、风机、尾气处理箱和处理液箱，所述风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，所述风机通过出风管与所述尾气处理箱的侧壁连接，所述尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，所述尾气处理箱底部设有排液口，所述排液口通过排液管连接有过滤箱，所述过滤箱通过回液管连接有处理液箱，所述处理液箱内盛放有处理液，所述处理液箱通过电机与所述喷头连接，所述排液口还连接有排气管。

进一步的，所述喷头至少有两个，多个喷头喷洒更全面，不留死角。

进一步的，所述喷头均匀分布在尾气处理箱的内壁顶部，喷水均匀，更充分的处理尾气中的有害物质。

进一步的，所述尾气处理箱底部呈倒置圆锥状，使得杂质不会再尾气处理箱底部淤积。

进一步的，所述过滤箱内设有滤网，过滤处理液中的较大颗粒，防止堵塞喷头。

本实用新型的优点在于：该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用，更环保，节约成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的过滤箱结构示意图。

图中，1-等离子刻蚀腔、2-风机、3-尾气处理箱、4-处理液箱、5-进风管、6-出风管、7-喷头、8-排液口、9-排液管、10-过滤箱、11-回液管、12-电机、13-排气管、14-滤网。

具体实施方式