[实用新型]一种等离子刻蚀尾气处理装置有效
| 申请号： | 201922425134.9 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211864532U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 陈正;刘昭;周亮亮 | 申请（专利权）人： | 江苏国源激光智能装备制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/79 | 分类号： | B01D53/79;B01D53/96 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 223800 江苏省宿迁市宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 尾气 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：包括等离子刻蚀腔、风机、尾气处理箱和处理液箱，所述风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，所述风机通过出风管与所述尾气处理箱的侧壁连接，所述尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，所述尾气处理箱底部设有排液口，所述排液口通过排液管连接有过滤箱，所述过滤箱通过回液管连接有处理液箱，所述处理液箱内盛放有处理液，所述处理液箱通过电机与所述喷头连接，所述排液口还连接有排气管。
2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：所述喷头至少有两个。
3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：所述喷头均匀分布在尾气处理箱的内壁顶部。
4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：所述尾气处理箱底部呈倒置圆锥状。
5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：所述过滤箱内设有滤网。
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