[实用新型]成膜装置有效
| 申请号： | 201922373930.2 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN211420302U | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 小川雄太;山根彻;斋藤哲郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C14/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种成膜装置，包括：腔室；挡板，所述挡板设置在所述腔室的内部；以及挡板旋转机构，所述旋转挡板机构用于使所述挡板旋转，其特征在于，所述挡板旋转机构具备：旋转轴，所述旋转轴在所述腔室的内部与所述挡板连接，并能够从所述腔室的外部使所述挡板旋转；以及端面凸轮机构，所述端面凸轮机构使所述旋转轴在规定的方向上静止，所述旋转轴利用所述端面凸轮机构使所述挡板在规定的位置静止。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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