[实用新型]蒸镀系统和蒸镀产线有效
申请号: | 201922353856.8 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN211284519U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 武启飞;廖良生;黄稳;徐飞;赵平;谢松涛 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/14;C23C14/56 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 谢玲 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供的蒸镀系统和蒸镀产线,包括金属蒸镀机构、有机蒸镀机构以及多个传送机构,通过将有机蒸镀机构所包括的多个有机蒸镀腔体依次首尾连通,将各传送机构分别设置于各有机蒸镀腔体中,传送正在进行有机蒸镀的基片,将金属蒸镀机构与有机蒸镀机构连通,以对有机蒸镀后的基片进行金属蒸镀,如此,简化了蒸镀系统的结构,降低了系统的造价成本。 | ||
搜索关键词: | 系统 蒸镀产线 | ||
【主权项】:
暂无信息
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