[实用新型]蒸镀系统和蒸镀产线有效

专利信息
申请号: 201922353856.8 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN211284519U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 武启飞;廖良生;黄稳;徐飞;赵平;谢松涛 申请(专利权)人: 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/14;C23C14/56
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 谢玲
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供的蒸镀系统和蒸镀产线,包括金属蒸镀机构、有机蒸镀机构以及多个传送机构,通过将有机蒸镀机构所包括的多个有机蒸镀腔体依次首尾连通,将各传送机构分别设置于各有机蒸镀腔体中,传送正在进行有机蒸镀的基片,将金属蒸镀机构与有机蒸镀机构连通,以对有机蒸镀后的基片进行金属蒸镀,如此,简化了蒸镀系统的结构,降低了系统的造价成本。
搜索关键词: 系统 蒸镀产线
【主权项】:
暂无信息
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