[实用新型]一种真空镀膜机的恒温装置有效
| 申请号： | 201922304735.4 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211142139U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 丁振勇;王大洪;谢春喜;钟俊超;阮炯城;蔡蓉;马朋朋;曾德强 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 邓爱军 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机腔体冷却技术领域，且公开了一种真空镀膜机的恒温装置，包括管壳和镀膜机腔体，所述管壳和镀膜机腔体之间形成冷却腔，所述镀膜机腔体的一侧固定连接有控制管道，且控制管道一侧设置有进水管道，所述控制管道的侧壁上环绕设置有多个U形管道，且控制管道内固定连接有隔板，所述隔板的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的一端固定连接有第一活塞，所述控制管道和冷却腔之间通过环绕设置的L形管相连通，所述镀膜机腔体的侧壁上温感装置。该种真空镀膜机的恒温装置，可以在提供一个恒温工作环境，并能够对水资源实现节约利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 恒温 装置 | ||
【主权项】：
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