[实用新型]一种连续式镀膜设备基片架有效
| 申请号： | 201922282438.4 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211256076U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王寅;王伟;邵家满;盛长鹰;陈进;钟世豪 | 申请（专利权）人： | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241009 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式镀膜设备基片架，具有：架体；箱体，设置在架体上，箱体内设有可供基片架滑动输送的通道；滚轴，箱体内设有一系列滚轴，基片架能够在滚轴上滑动；伺服电机，与滚轴连接；光电传感器，设置在箱体上，光电传感器能够感应箱体内基片架的位置，使基片架在镀膜箱体内无间距输送，镀膜箱体内就可以多容纳一部基片架，不仅节约了靶材的浪费，同时提高镀膜设备的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 镀膜 设备 基片架 | ||
【主权项】：
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