[实用新型]一种连续式镀膜设备基片架有效
| 申请号： | 201922282438.4 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211256076U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王寅;王伟;邵家满;盛长鹰;陈进;钟世豪 | 申请（专利权）人： | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241009 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 连续 镀膜 设备 基片架 | ||
【权利要求书】：
1.一种连续式镀膜设备基片架，其特征在于，具有：
架体；
箱体，设置在所述架体上，所述箱体内设有可供基片架滑动输送的通道；
滚轴，箱体内设有一系列滚轴，所述基片架能够在所述滚轴上滑动；
伺服电机，与所述滚轴连接；
光电传感器，设置在所述箱体上，所述光电传感器能够感应箱体内基片架的位置。
2.如权利要求1所述的连续式镀膜设备基片架，其特征在于，所述箱体的顶部设有一系列光电传感器，所述光电传感器能够感应箱体内光电传感器附近的基片架的位置。
3.如权利要求2所述的连续式镀膜设备基片架，其特征在于，每个滚轴均通过一个伺服电机驱动。
4.如权利要求3所述的连续式镀膜设备基片架，其特征在于，所述伺服电机能够实时改变所述滚轴的转速。
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