[实用新型]一种新型PECVD设备结构

摘要

本实用新型公开一种新型PECVD设备结构，包括炉体、炉门法兰、炉门，炉体内形成炉腔，所述炉体的一端设置炉口，炉门法兰密封安装在炉口处，炉门法兰通过密封结构与炉体密封相接，所述密封结构包括设置在炉门法兰的密封圈以及开设在炉门法兰用于安装密封圈的密封槽，所述炉门法兰具有一与炉门相对的端面，密封槽沿着所述端面开设，所述密封圈部分嵌入密封槽内、部分相对密封槽凸出与所述炉门密封相接。本实用新型缩短了石墨舟在炉体内的加热时间，在不增加大量能耗情况下，提高了单位时间内的产能，并且解决了密封难、易漏气的缺点。