[实用新型]掩膜版尺寸测量装置有效
| 申请号： | 201922119150.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210773913U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王栋;张盛 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕;彭家恩 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种掩膜版尺寸测量装置，包括测量平台以及至少两个距离测量仪，所述测量平台上设有放置区，所述放置区用于放置待测掩膜版；该距离测量仪固定在所述测量平台上，所述距离测量仪位于所述放置区以外，且相对地设置在放置区两侧，通过所述至少两个距离测量仪对待测掩膜版进行测量，可快速准确的获得所述待测掩膜版的外观尺寸信息，使得掩膜版尺寸的测量效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 尺寸 测量 装置 | ||
【主权项】：
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