[实用新型]一种氧化铌靶材有效
| 申请号： | 201922094891.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210974859U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 童晓鸣 | 申请（专利权）人： | 厦门点睛巨石纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 厦门佰业知识产权代理事务所(普通合伙) 35243 | 代理人： | 任晶 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种氧化铌靶材，包括铜板，所述铜板包括正面和背面，所述铜板的正面设有嵌合槽，所述嵌合槽内嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材，所述靶材与嵌合槽槽底之间设有一层金属铟，沿着所述铜板边沿设有若干固定通孔，所述铜板的背面设有水冷槽。本实用新型靶材结构简单、设计合理，可满足对靶材较大尺寸的要求，此外，铜板和水冷槽的设计使得靶材的散热效果好，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铌靶材 | ||
【主权项】：
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