[实用新型]一种喷嘴高度的微调装置有效
| 申请号： | 201922077806.1 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN211801924U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 吕健 | 申请（专利权）人： | 无锡升滕半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/68 | 分类号： | B05B15/68 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 花修洋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种喷嘴高度的微调装置，包括底座、活塞块、旋钮和喷嘴；所述底座设置有进气通道和出气通道，所述进气通道和出气通道上下交错设置，所述活塞块设置有导气通道，所述导气通道的一端与出气通道相通，所述导气通道的另一端与进气通道相通，所述活塞块与旋钮上下滑动连接，转动旋钮可使活塞块上下移动，所述喷嘴可与活塞块固定连接。本实用新型所述的一种用于控制进气量的微调装置，能够实现喷嘴的上下微小调整，保证镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 高度 微调 装置 | ||
【主权项】：
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