[实用新型]清洁装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201922065267.X | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN211330396U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵文波;闫法领;赵乾伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种清洁装置及光刻设备，该清洁装置包括：安装架、动力元件、连接件和清洁石，动力元件设置在安装架上，连接件包括活动板和连接杆，活动板的一端与动力元件的输出轴连接，连接杆的一端连接至活动板的另一端，连接杆的另一端与清洁石连接。上述的清洁装置能够提高吸盘清洁效率，提高光刻设备产率。相应地，本实用新型还提供一种光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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