[实用新型]清洁装置及光刻设备

权利要求书

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：安装架(10)、动力元件、连接件和清洁石(20)，所述动力元件设置在所述安装架(10)上，所述连接件包括活动板(30)和连接杆(40)，所述活动板(30)的一端与所述动力元件的输出轴连接，所述连接杆(40)的一端连接至所述活动板(30)的另一端，所述连接杆(40)的另一端与所述清洁石(20)连接。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括：防撞复位件，所述防撞复位件分别与所述安装架(10)和所述活动板(30)连接。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述防撞复位件包括第一拉簧支柱(71)、第二拉簧支柱(72)和拉簧(73)，所述第一拉簧支柱(71)与所述安装架(10)连接，所述第二拉簧支柱(72)与所述活动板(30)连接，所述拉簧(73)分别与所述第一拉簧支柱(71)和所述第二拉簧支柱(72)连接。

4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括：第一限位开关(81)和第二限位开关(82)，所述第一限位开关(81)和所述第二限位开关(82)均设置在所述安装架(10)上，且所述第一限位开关(81)和所述第二限位开关(82)分别沿所述活动板(30)的运动方向设置在所述活动板(30)的两侧。

5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括：配重板(90)，所述配重板(90)设置在所述清洁石(20)上。

6.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述连接件还包括锁紧螺母(100)，所述活动板(30)上开设有安装通孔，所述连接杆(40)的一端穿过所述安装通孔与所述锁紧螺母(100)连接。

7.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，所述安装通孔的孔径大于所述连接杆(40)的直径。

8.根据权利要求1至7任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述动力元件为气缸(50)。

9.根据权利要求8所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括节流阀(120)，所述节流阀(120)与所述气缸(50)连接。

10.根据权利要求1至7任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁石(20)采用陶瓷制成。

11.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的清洁装置。