[实用新型]一种显影装置

摘要

本实用新型公开一种显影装置，包括显影管路和冲洗管路，显影管路和冲洗管路均连接喷洒管道，喷洒管道的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置，超声波装置包括超声波振动子，喷洒管道包括内壁和外壁，内壁和外壁之间设置有电热丝，喷洒管道上设置有朝下的电控喷头，电控喷头的下方设置有承片台，喷洒管道上还设置有与电控喷头相对应的温度传感器，超声波装置、电热丝、电控喷头、温度传感器均连接控制器，控制器连接有电源。喷出的去离子水中具有声波能量，能够更有效的清洁晶圆表面杂质，保证了显影液的温度不偏离预设温度，从而保证了显影均匀性。