[实用新型]一种显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括显影管路（1）和冲洗管路（2），所述显影管路（1）和冲洗管路（2）均连接喷洒管道（3），所述喷洒管道（3）的两端封堵并且其至少一端设置有超声波装置（4），所述超声波装置（4）包括超声波振动子，所述喷洒管道（3）包括内壁（5）和外壁（6），所述内壁（5）和所述外壁（6）之间设置有电热丝（7），所述喷洒管道（3）上设置有朝下的电控喷头（8），所述电控喷头（8）的下方设置有承片台（9），所述喷洒管道（3）上还设置有与所述电控喷头（8）相对应的温度传感器（10），所述超声波装置（4）、所述电热丝（7）、所述电控喷头（8）、所述温度传感器（10）均连接控制器，所述控制器连接有电源。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述内壁（5）和所述外壁（6）之间填充有保温棉。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述承片台（9）上可拆卸地设置有掩模（11），所述掩模（11）的顶部开设显影液分散槽（12），所述显影液分散槽（12）内均布有若干分布孔（13），所述分布孔（13）贯穿所述掩模（11）。

4.根据权利要求3所述的显影装置，其特征在于，所述分布孔（13）的形状为六边形。