[实用新型]一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置，包括筒状的本体，所述本体上部开设有进气口，下部开设有出油口和出气口；所述本体中设有内层通道、位于通道外层的中层环形腔以及位于中层环形腔外层的外层环形腔；进气口与外层环形腔的上部相连通，所述外层环形腔的底部与中层环形腔的底部均与出油口相通，所述中层环形腔的上部与内层通道的上部相连通，所述内层通道的下端与所述出气口相通；所述本体中还设置有冷却装置。本实用新型不仅通过冷却装置实现了焦油的冷凝，而且在有限的空间中巧妙地构建了上下连通的两层环形腔和一组通道，延长了冷却路径，显著提升冷却效果。