[实用新型]在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置有效
| 申请号： | 201921949708.6 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN210774624U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王敏;吴振聪;陈玉芳;连东沛;张昊 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 丘鸿超;蔡学俊 |
| 地址： | 350117 福建省福州市闽侯县*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种在线泰曼‑格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD。其实现扩束后的平行光经过分光元件分成参考光和测试光，测试光经过标准镜汇聚成标准球面波且与待测镜片曲率中心重合，并原光路返回至干涉光路与参考光形成相干光束。此光路利用非对称的泰曼‑格林干涉光路来检测成盘镜片，其优点是结构紧凑，易于小型化，同时也契合大批量镜片检测的需求，使得检测过程更加简单、便利，实现球面镜片不下盘检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 格林 检测 干涉仪 测量 装置 | ||
【主权项】：
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