[实用新型]在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置

权利要求书

1.一种在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD；所述激光器光源、扩束系统、起偏器从左至右依次设置在偏振分光棱镜左方的光路上；第二1/4玻片、所述球面标准镜、待测成盘加工的球面镜片从左至右依次设置在偏振分光棱镜右方的光路上；所述平面参考镜、第一1/4玻片从上至下依次设置在偏振分光棱镜上方的光路上；所述检偏器、成像镜组和光电传感器CCD从上至下依次设置在偏振分光棱镜下方的光路上。

2.根据权利要求1所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：还包括设置在检偏器和成像镜组之间的光路上的匀光装置。

3.根据权利要求1所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述激光器光源发出的光束经过扩束系统扩束准直后在偏振分光棱镜斜面处分振幅成两束光；其中参考光经过平面参考镜反射形成标准平面波，测试光经过待测球面镜片反射回有偏差的测试波前，在偏振分光棱镜处与标准平面波相遇并产生干涉。

4.根据权利要求3所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述测试光经过球面标准镜后，从平面波转化为标准球面波，且标准球面波汇聚点与待测球面镜片的曲率半径中心重合，并沿原光路返回。

5.根据权利要求3所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述参考光和测试光分别先后两次经过光路中的第一1/4玻片和第二1/4玻片后，产生相位延迟，使得原先的S偏振光或P偏振光转换为P偏振光或S偏振光。

6.根据权利要求3所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述起偏器用于调节参考光和测试光的光强相等；所述检偏器用于当S偏振光和P偏振光在偏振分光棱镜处相遇后使两束光变成偏振方向相同的两束光，产生干涉。

7.根据权利要求4所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：多片所述待测成盘加工的球面镜片旋转对称分布于模具的球面模具头上；所述模具的尾部铰接固定在支架上；所述支架上还设置有位移补偿机构。

8.根据权利要求7所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述球面模具头上分布有一片中央球面镜片和多片边缘球面镜片；所述模具的尾部通过球关节铰接固定在支架上。

9.根据权利要求8所述的在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置，其特征在于：所述位移补偿机构通过三个输出方向相互正交的步进电机进行驱动。