[实用新型]一种新型真空镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备，具体涉及真空镀膜领域，包括镀膜箱和换料箱，所述换料箱固定设于镀膜箱两侧，所述镀膜箱内部活动设有固定板和安装盒，且固定板位于安装盒两侧，所述镀膜箱两侧开设有出料口，所述出料口远离镀膜箱的侧面铰链连接有密封门，所述换料箱内部底层固定安装有一号电动推杆，所述一号电动推杆顶端固定设有活动杆，所述换料箱内部中层固定安装有二号电动推杆，且二号电动推杆与一号电动推杆之间垂直设置，所述固定板靠近安装盒的侧面固定设有连接板，所述安装盒内部两侧均固定安装有三号电动推杆。本实用新型便于自动更换靶件，提高了生产效率，自动化程度高，节省劳动力。