[实用新型]掩模版和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201921930248.2 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN210683920U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张粲;王灿;张盎然;陈小川 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 曲鹏;解婷婷 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩模版和蒸镀装置。掩模版包括半导体材料的基底以及在所述基底上形成的掩模图形，所述掩模图形包括多个开口，在垂直于掩模版的平面内，所述开口的截面形状包括梯形。本实用新型通过将掩模图形中开口的截面形状设置成梯形，消除了蒸镀时开口侧壁对蒸镀材料的遮挡，使得蒸镀材料能够均匀地透过开口贴附在显示基板的像素开口内，提高了蒸镀均匀性，提高了蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921930248.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种平行交换切割机架体
- 下一篇：列车及其内置式装载门的门外操作装置
- 同类专利
- 专利分类
