[实用新型]一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟有效
| 申请号： | 201921821112.8 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN210296290U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王利娟;彭彪;陆勇;彭春林;段少雷;顾峰;戎丹 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 韦群 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于石墨舟的新型电极结构，包括石墨杆和若干石墨连接块，所述电极结构通过石墨杆可拆卸地插接多个石墨连接块构成，所述石墨杆为圆柱体，所述石墨连接块为长方体，且石墨连接块中贯通开设有空心槽。本实用新型空心槽设计合理，空心结构的石墨连接块，在相同升温时间下提升了电极结构附近温区的温度，从而提升了相邻工位的电池片膜厚，缩小了电池片舟内膜厚均匀性的差异；并且保证了炉口通入的反应气体能直接通过电极结构进入石墨舟内，使得硅片镀膜时整体沉积速率较一致，从而改善舟内整体膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 新型 电极 结构 及其 | ||
【主权项】：
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