[实用新型]清洁装置及晶圆清洁设备有效
| 申请号： | 201921796453.4 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN212120884U | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 高林 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;B08B3/02;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种清洁装置及晶圆清洁设备，能够加快晶圆的清洁速率，提高晶圆的产量。其中，所述清洁装置用于清洁滚轴清洁刷，包括：清洁主体，所述清洁主体内部具有第一管道，且所述清洁主体的一侧表面设置有与所述第一管道连通的第一通孔；抽真空单元，连通至所述第一管道，用于对所述第一管道抽真空；所述第一通孔所在的清洁主体的表面弧度与所述滚轴清洁刷的表面弧度一致，以贴合所述滚轴清洁刷的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 设备 | ||
【主权项】：
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