[实用新型]一种差动式电容多维力传感器

摘要

本实用新型公开了一种差动式电容多维力传感器，其由传感器主体、下感应层、PCB板、上感应层组成。下感应层和上感应层通过螺钉连接于传感器主体中心圆盘上。PCB板位于上、下感应层之间，并固定在传感器外壁内侧的PCB安装台上，且上、下感应层上的平行板电容动电极关于PCB板对称分布且都与PCB板保持一定间隙，并与PCB板上、下表面的平行板电容静电极形成差动式结构平行电极型电容器。PCB板上的左右垂直型电容静电极关于垂直型电容动电极对称分布且与垂直型电容动电极保持一定间隙，形成差动式结构垂直电极型电容器。本实用新型采用两种差动式结构电容器，提高了电容多维力传感器灵敏度、线性度与抗干扰能力。