[实用新型]一种靶材绑定用靶管金属化装置有效
| 申请号： | 201921738190.1 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN210711720U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈标;刘所心;马超宁;段宇龙 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B05B17/06;B05B13/06 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 471100 河南省洛阳市洛阳空港*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。本实用新型涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 用靶管 金属化 装置 | ||
【主权项】：
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