[实用新型]一种靶材绑定用靶管金属化装置

说明书

本实用新型涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。本实用新型涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。

技术领域

本实用新型涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置。

背景技术

靶管的种类是多样的，有金属管（钼靶管、钨靶管、铝靶管）和陶瓷管（ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等），由于靶管和内衬管材质不同，靶管和钎料属于不同材质，靶管与钎料润湿性不够的情况下，易产生与钎料的脱落，从而导致靶材使用过程中的导电性不好，导热性能差，甚至出现靶材开裂等情况。

目前采用的靶管金属化的方法，是采用人工手持超声波涂铟机头，进行涂铟的方法，导致涂铟厚度不均匀，工人劳动强度较大，工人熟练程度要求较高。

中国实用新型专利201820245968.4公开了一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，通过内加热装置以及超声波发生器配合，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率。但是该装置仅适用于背管外圆金属化，并不适用于靶管的内圆金属化。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种靶材绑定用靶管金属化装置，该装置适用于靶管的内圆金属化，可以有效地解决现有采用人工涂铟的靶管金属化方式中，存在的涂铟不均匀、工人劳动强度大以及对工人熟练程度要求高的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。

所述电机Ⅰ是伺服电机，所述电机Ⅱ是步进电机。

所述电机通过机架支撑。

所述连接件是法兰。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

本装置包括机架组，机架上有步进电机和伺服电机，伺服电机通过旋转套带动外加热套和靶管进行旋转运动，步进电机带动丝杆旋转从而使超声波发生器进行水平运动，是一种自动化水平较高的靶管内圆金属化装置。该装置在使用时，超声波发生头竖直向下，靶管两端头位置使用耐高温胶带缠绕，启动外加热套，待外加热套温度升至铟熔点以上，开启超声波发生器，将铟液注入至靶管内，同时启动步进电机和伺服电机开始自动涂铟过程。本实用新型即新颖又实用，而且节省空间；采用机架支撑，十分平稳牢固，涂铟厚度一致，自动化水平高，减少工人劳动强度，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。

下面，结合附图和实施例对本实用新型之一种靶材绑定用靶管金属化装置的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之一种靶材绑定用靶管金属化装置主视图（局剖）。

图2：图1的A-A剖视图。