[实用新型]一种靶材绑定用靶管金属化装置有效
| 申请号： | 201921738190.1 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN210711720U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈标;刘所心;马超宁;段宇龙 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B05B17/06;B05B13/06 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 471100 河南省洛阳市洛阳空港*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 用靶管 金属化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器（10）和电机，其特征在于：还包括有旋转套（3）、外加热套（4）、丝杆（5）和滑套（6），所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ（1）和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ（8），所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承（12）安装在旋转套上，另一端通过连接件（7）与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆（9）连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套（2）与电机Ⅰ的转轴连接。
2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定用靶管金属化装置，其特征在于：所述电机Ⅰ是伺服电机，所述电机Ⅱ是步进电机。
3.根据权利要求1或2所述的一种靶材绑定用靶管金属化装置，其特征在于：所述电机通过机架（11）支撑。
4.根据权利要求1或2所述的一种靶材绑定用靶管金属化装置，其特征在于：所述连接件是法兰。
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