[实用新型]一种晶圆氮气干燥装置有效
| 申请号： | 201921728877.7 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN210663662U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 岳佳佳 | 申请（专利权）人： | 苏州冠博控制科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 杨军 |
| 地址： | 215151 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆氮气干燥装置，包括氮气干燥槽、异丙醇暂存槽，异丙醇暂存槽的出液口通过阀门三连接换液泵的进液口，换液泵的出液口通过阀门一连接氮气干燥槽底部的进液口，氮气干燥槽内安装有晶圆放置隔板，晶圆放置隔板上置有晶圆篮子，晶圆放置隔板下方设有搅拌氮气管，搅拌氮气管的进气端通过搅拌氮气阀门连接氮气管道，氮气干燥槽上方设置有吹干氮气盖板，吹干氮气盖板的进气口通过管道连接氮气管道，氮气盖板与氮气管道之间的管道上装设有氮气加热器以及吹干氮气流量计；本实用新型同现有技术相比，不仅干燥效果好，干燥时间短，成本低，而且由于不利用离心动力甩干的方式进行干燥，从而特别适用于易破碎的晶圆制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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