[实用新型]用于电子束蒸镀的锅盘

摘要

本实用新型公开了一种用于电子束蒸镀的锅盘，其包括盘底和侧壁部，侧壁部呈截头的倒锥状，也即侧壁部的上边缘的外径大于下边缘的外径，侧壁部从上到下逐渐向靠近用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线方向倾斜，在侧壁部的外侧面上设置有多个朝向用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线凹陷的落料槽。本实用新型的锅盘还包括与侧壁部的上边缘连接的物料遮挡部，物料遮挡部包括从下到上向靠近用于电子束蒸镀的锅盘的纵向中轴线倾斜设置的物料遮挡坡面。利用本实用新型的锅盘进行电子束蒸镀时可有效减少从锅盘中掉落的膜料量并可避免膜料卡在锅盘与EBG中间而影响锅盘转动，因而确保了更佳的蒸镀镀膜效果。