[实用新型]一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置

摘要

本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架穿过金属网笼，样品架两端设置在金属网笼外部，底部支撑在真空腔体上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接。优点是：结构合理，方便使用，利用本装置沉积的DLC膜，提高了膜基结合力，以延长其作为油管钢的使用寿命。