[实用新型]一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统有效
| 申请号： | 201921655895.7 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210657123U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 毕飞飞;黎焕明;姜天豪;蓝树槐;彭林法 | 申请（专利权）人： | 上海治臻新能源装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人： | 陈颖洁;王佳妮 |
| 地址： | 201306 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本实用新型采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，可降低涂层制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 燃料电池 极板 金属 碳化物 涂层 四腔体 沉积 系统 | ||
【主权项】：
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