[实用新型]晶圆翻转定位装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆翻转定位装置，包括底板、翻转结构及两定位结构，翻转结构及两定位结构固定安装于底板，翻转结构包括升降结构、旋转结构及吸附结构，吸附结构包括吸板，旋转结构滑动安装于升降结构，吸板转动安装于旋转结构，每一定位结构包括保护夹爪，保护夹爪包括两夹持组件，两夹持组件之间形成间隙及与间隙连通的收容空间，晶圆被两夹持组件夹持于收容空间中并且光刻面朝上，吸板通过间隙进入收容空间，吸附晶圆后上移进行翻转，翻转后下降至另一定位结构的保护夹爪中，此时光刻面朝下，通过吸附结构及保护夹爪，晶圆能够高速搬运翻转定位，并且无污染，不接触光刻面。