[实用新型]用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置

摘要

本实用新型公开了用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括水箱和冷凝管，所述冷凝管固定安装于水箱的上端，所述水箱的上端连通有与冷凝管侧壁连通的导风管，所述水箱的上端连通有与冷凝管底部连通的回流管，所述冷凝管的侧壁上连通有出风管，所述水箱底部的一端侧壁上连通有与气源连通的输气管，所述水箱底部另一端侧壁上连通有输水管，所述水箱顶部的侧壁上连通有平压机构，所述平压机构的侧壁上固定安装有限位机构。本实用新型通过水箱、冷凝管、导风管和输气管之间的配合使用，实现了对惰性气体中水分子过滤的目的，从而避免其影响辉光放电，通过设置回流管和第一阀门，实现了将冷凝管中的水回流至水箱，进行重复利用。