[实用新型]用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置

说明书

本实用新型公开了用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括水箱和冷凝管，所述冷凝管固定安装于水箱的上端，所述水箱的上端连通有与冷凝管侧壁连通的导风管，所述水箱的上端连通有与冷凝管底部连通的回流管，所述冷凝管的侧壁上连通有出风管，所述水箱底部的一端侧壁上连通有与气源连通的输气管，所述水箱底部另一端侧壁上连通有输水管，所述水箱顶部的侧壁上连通有平压机构，所述平压机构的侧壁上固定安装有限位机构。本实用新型通过水箱、冷凝管、导风管和输气管之间的配合使用，实现了对惰性气体中水分子过滤的目的，从而避免其影响辉光放电，通过设置回流管和第一阀门，实现了将冷凝管中的水回流至水箱，进行重复利用。

技术领域

本实用新型涉及气体过滤装置技术领域，尤其涉及用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置。

背景技术

辉光放电是指低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀有气体中的自持放电现象，辉光放电质谱仪则是利用辉光放电检测无机固体材料中元素的含量。

辉光放电时通入的是惰性气体，惰性气体一般是通过液化分离的方式进行提取，其提取的惰性气体中含有微量的自由离子，从而会影响辉光放电，通过水对惰性气体进行过滤，可以过滤其中的杂质以及自由离子，但是水会产生水分子，进入辉光放电装置后会对其辉光放电产生影响，现有装置不具有滤除水分子的功能，此外需要对水定期更换，防止自由离子对水产生影响，现有的更换方式不能够将水箱内的空气排出或防止空气进入水箱内，从而需要通过抽气泵进行抽气，进而影响工作效率，为此我们提出了用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不能过滤水分子、更换水方式麻烦的缺点，而提出的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括水箱和冷凝管，所述冷凝管固定安装于水箱的上端，所述水箱的上端连通有与冷凝管侧壁连通的导风管，所述水箱的上端连通有与冷凝管底部连通的回流管，所述冷凝管的侧壁上连通有出风管，所述水箱底部的一端侧壁上连通有与气源连通的输气管，所述水箱底部另一端侧壁上连通有输水管，所述水箱顶部的侧壁上连通有平压机构，所述平压机构的侧壁上固定安装有限位机构。

优选地，所述平压机构包括与水箱顶部侧壁连通的圆管，所述限位机构固定安装于圆管的侧壁上，所述圆管内滑动密封设有活塞板，所述活塞板远离水箱的一面固定连接有限位杆，所述限位杆环形侧壁上开设有插口，所述插口与限位机构活动连接，所述活塞板远离水箱的一面与圆管的侧壁之间固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧滑动套设于限位杆上。

优选地，所述限位机构包括固定安装于圆管侧壁上的固定板，所述固定板内贯穿设有插杆，所述插杆的下端插设于插口内。

优选地，所述回流管上设有第一阀门，所述出风管上设有第二阀门。

优选地，所述水箱的底部内设有泄水阀。

优选地，所述导风管的进气端内设有吸水棉。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过水箱、冷凝管、导风管和输气管之间的配合使用，实现了对惰性气体中水分子过滤的目的，从而避免其影响辉光放电，通过设置回流管和第一阀门，实现了将冷凝管中的水回流至水箱，进行重复利用。

2、本实用新型通过出风管、第二阀门、圆管、活塞板、复位弹簧和泄水阀之间的配合使用，实现了在更换水时，防止空气进入水箱内的目的，从而加快其更换效率，进而避免影响其工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置的正面结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；