[实用新型]用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置

权利要求书

1.用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，包括水箱(1)和冷凝管(2)，所述冷凝管(2)固定安装于水箱(1)的上端，其特征在于，所述水箱(1)的上端连通有与冷凝管(2)侧壁连通的导风管(3)，所述水箱(1)的上端连通有与冷凝管(2)底部连通的回流管(4)，所述冷凝管(2)的侧壁上连通有出风管(5)，所述水箱(1)底部的一端侧壁上连通有与气源连通的输气管(6)，所述水箱(1)底部另一端侧壁上连通有输水管(7)，所述水箱(1)顶部的侧壁上连通有平压机构(8)，所述平压机构(8)的侧壁上固定安装有限位机构(9)。

2.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于，所述平压机构(8)包括与水箱(1)顶部侧壁连通的圆管(10)，所述限位机构(9)固定安装于圆管(10)的侧壁上，所述圆管(10)内滑动密封设有活塞板(11)，所述活塞板(11)远离水箱(1)的一面固定连接有限位杆(12)，所述限位杆(12)环形侧壁上开设有插口(13)，所述插口(13)与限位机构(9)活动连接，所述活塞板(11)远离水箱(1)的一面与圆管(10)的侧壁之间固定连接有复位弹簧(14)，所述复位弹簧(14)滑动套设于限位杆(12)上。

3.根据权利要求2所述的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于，所述限位机构(9)包括固定安装于圆管(10)侧壁上的固定板(15)，所述固定板(15)内贯穿设有插杆(16)，所述插杆(16)的下端插设于插口(13)内。

4.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于，所述回流管(4)上设有第一阀门(17)，所述出风管(5)上设有第二阀门(18)。

5.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于，所述水箱(1)的底部内设有泄水阀(19)。

6.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱仪的气体过滤装置，其特征在于，所述导风管(3)的进气端内设有吸水棉(20)。