[实用新型]一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉有效
| 申请号： | 201921583582.5 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN211036071U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴晓明 | 申请（专利权）人： | 海盐鑫中岳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，涉及到真空镀膜炉技术领域，包括真空镀膜炉体，所述真空镀膜炉体的下表面两侧均固定焊接有支撑腿，所述真空镀膜炉体的内部活动设置有环形上下移动管，并且环形上下移动管的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头，所述环形上下移动管的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮，所述真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆。镀膜喷头对设置于环形上下移动管的内圈通道中的刀具挂架上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆通过伸缩使得环形上下移动管进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 pvd 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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