[实用新型]一种双向驱动微镜芯片有效
申请号: | 201921569341.5 | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN210639349U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 陈巧 | 申请(专利权)人: | 苏州知芯传感技术有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 田凌涛 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片,克服现有技术中采用两层梳齿结构,只能单向驱动,使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题,应用全新设计结构,拥有上中下三层梳齿结构,为微镜提供双向驱动力,使得被驱动对象的受力完全对称,获得更加优良的微镜扫描效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 双向 驱动 芯片 | ||
【主权项】:
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